据报道，由于先进工艺产能过剩，台积电计划将在今年年底部分EUV为了节省电费，台积电近日也回应，表示不评论市场传言。
台积电表示，公司对机器设备有年度规划，并遵循计划，在不影响正常运行的前提下进行日常维护和升级。
上周，来自产业链内部人士的手机晶片专家表示，由于先进工艺的产能利用率开始下降，评估后的下降时间将持续一段时间，台积电计划将从年底开始EUV设备关机，以节省EUV设备耗电巨大。
据了解，目前台积电约有80台EUV主要用于7台光刻机nm，5nm以下先进技术，今年9月也将量产3nm工艺，都要EUV光刻机，但随之而来PC，手机、显卡等产品的需求下降，先进工艺制造的芯片肯定会受到影响。
相比之前的DUV光刻机，EUV光刻机需要使用高能激光器，光源会多次映射造成很大的损耗，初始效率只有0.02%，现在量产可以达到2%的效率，但也意味着大部分电力都要消耗。
EUV光刻机生产每天需要3万度电，每年耗电约1000万度，是一只充满电老虎。